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意大利ATOS傳感器E-ATR系列,ATOS壓力傳感器E-ATR是使用為廣泛的一種傳感器。傳統的壓力傳感器以機械結構型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結構尺寸大、質(zhì)量重,不能提供電學(xué)輸出。隨著(zhù)半導體技術(shù)的發(fā)展,半導體壓力傳感器也應運而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著(zhù)MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導體傳感器向著(zhù)微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。